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薩科微肖特基勢(shì)壘二極管基本結(jié)構(gòu)

發(fā)布時(shí)間:2023-03-29作者來(lái)源:薩科微瀏覽:2241

薩科微Slkor肖特基二極管在風(fēng)力發(fā)電、電源設(shè)備、充電樁等多個(gè)領(lǐng)域都有著廣泛應(yīng)用,由于肖特基二極管的結(jié)構(gòu)特點(diǎn),在這些領(lǐng)域都能起到不錯(cuò)的作用,接下來(lái)我們一起了解一下肖特基二極管的結(jié)構(gòu)是怎樣的。
肖特基勢(shì)壘二極管利用金屬-半導(dǎo)體(M-S)接觸特性制成,由于金屬-半導(dǎo)體接觸的電流運(yùn)輸主要是依靠多數(shù)載流子(電子),其電子遷移率高,且M-S結(jié)可以在亞微米尺度上精確制造加工,使得肖特基勢(shì)壘二極管能運(yùn)用到亞毫米波、太赫茲波頻段。肖特基勢(shì)壘二極管基本結(jié)構(gòu)所示。

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肖特基勢(shì)壘二極管截面圖
由于N型摻雜相比于P型摻雜有更高的電子遷移率,襯底材料選擇“N+型”襯底,隨后在襯底表面生長(zhǎng)出一層高純度、高電導(dǎo)率的N型重?fù)诫s緩沖層,用于保證較低的串聯(lián)電阻及防止襯底雜質(zhì)進(jìn)入外延層。外延層生長(zhǎng)在緩沖層上表面,其摻雜濃度與厚度是二極管的重要設(shè)計(jì)參數(shù)。外延層上表面與金屬陽(yáng)極接觸形成肖特基勢(shì)壘接觸,形成整流結(jié),在襯底下表面與金屬陰極接觸形成歐姆接觸。
肖特基勢(shì)壘二極管有兩種管芯結(jié)構(gòu):點(diǎn)接觸型和面結(jié)合型,如下圖所示。點(diǎn)接觸型管芯用一根金屬絲壓接在N型半導(dǎo)體外延層表面上形成金半接觸。面結(jié)合型管芯先要在N型半導(dǎo)體外延層表面上生成二氧化硅保護(hù)層,再用光刻的辦法腐蝕出一個(gè)小孔,暴露出N型半導(dǎo)體外延層表面,淀積一層金屬膜(一般采用金屬淚或鈦,稱為勢(shì)壘金屬)形成金半接觸,再蒸餾或電鍍一層金屬(金、銀等)構(gòu)成電極。

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兩種肖特基勢(shì)壘二極管結(jié)構(gòu)

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