·歷史回顧：

25年前，1997年5月29日至6月2日，中國(guó)大陸半導(dǎo)體界29人經(jīng)香港到臺(tái)灣新竹參加《兩岸半導(dǎo)體學(xué)術(shù)研究與產(chǎn)業(yè)發(fā)展研討會(huì)》，從此推進(jìn)了兩岸半導(dǎo)體、尤其是集成電路行業(yè)之間的交流與合作快速向前發(fā)展。這次會(huì)議由臺(tái)灣電子材料與元件協(xié)會(huì)（EDMA）發(fā)起主辦，中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)（CSIA）配合組團(tuán)赴臺(tái)參會(huì)。會(huì)前EDMA秘書長(zhǎng)馮明憲和CSIA秘書長(zhǎng)陳文華做了大量籌備工作。大陸代表團(tuán)由CSIA理事長(zhǎng)樓潔年任團(tuán)長(zhǎng)，包含大學(xué)7人、研究所10人、.工廠公司7人、政府機(jī)關(guān)3人和協(xié)會(huì)2人。其中包括當(dāng)時(shí)大陸主要的集成電路企業(yè)：華晶、華越、貝嶺、首鋼日電，以及燕東。臺(tái)灣方面參加38人，包括主要集成電路公司（臺(tái)積電、聯(lián)華電子、茂矽、茂德、旺宏和世界先進(jìn)）、大學(xué)和研究單位。

研討會(huì)上主要報(bào)告有張俊彥（EDMA理事長(zhǎng)）所作“臺(tái)灣半導(dǎo)體之技術(shù)現(xiàn)況與未來展望”和鄭敏政（中國(guó)電子工業(yè)部基礎(chǔ)產(chǎn)品司副司長(zhǎng)）所作“大陸集成電路發(fā)展策略”。然后，會(huì)議分三組進(jìn)行學(xué)術(shù)研究和產(chǎn)業(yè)發(fā)展論文宣講。會(huì)議經(jīng)過討論后取得今后在半導(dǎo)體領(lǐng)域開展合作的共識(shí)，合作內(nèi)容包括臺(tái)灣協(xié)助大陸發(fā)展集成電路生產(chǎn)，提高量產(chǎn)效益，在集成電路產(chǎn)業(yè)上引

進(jìn)資金、人才和技術(shù)等。

新竹會(huì)議之后不久，臺(tái)灣方面組織了“大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資考察訪問團(tuán)”，于1997年7月21日至8月3日先后訪問了北京和上海。由茂矽電子公司高級(jí)顧問蔡南雄任團(tuán)長(zhǎng)，團(tuán)員包括EDMA秘書長(zhǎng)馮明憲和各公司總經(jīng)理、副總經(jīng)理。這次考察探討了臺(tái)灣集成電路產(chǎn)業(yè)界來大陸投資設(shè)硅片加工廠的可能性。在拜訪電子工業(yè)部時(shí)，部總工程師俞忠鈺則建議先到國(guó)有的兩大集成電路企業(yè)：無錫華晶集團(tuán)和紹興華越公司，探討合作的可能性。為此，考察團(tuán)到上海后又去了江蘇無錫，參觀訪問了華晶集團(tuán)公司，從此揭開了兩岸半導(dǎo)體合作的序幕。

·合作舉例：

一、 華晶上華

華晶集團(tuán)公司在20世紀(jì)90年代后半期頭兩三年執(zhí)行國(guó)家的“908”工程，從美國(guó)郎迅公司引進(jìn)0.9微米CMOS工藝技術(shù)6英寸芯片生產(chǎn)線。但引進(jìn)的產(chǎn)品缺乏市場(chǎng)，沒法形成規(guī)模生產(chǎn)，而且原有5英寸MOS線連續(xù)幾年處于虧損狀態(tài)。1997年9月底開始，蔡南雄、馮明憲和蕭常輝（原香港華智公司）等人組成的海外華人代表團(tuán)與華晶開始談判。后來美籍華人陳正宇博士（臺(tái)灣茂矽總經(jīng)理）代替蔡南雄帶領(lǐng)談判，前后經(jīng)過四個(gè)半月多次談判，到12月18日雙方就合作運(yùn)行華晶5英寸和6英寸MOS電路芯片工藝線達(dá)成協(xié)議。海外華人半導(dǎo)體企業(yè)家和專家在香港成立了上華半導(dǎo)體投資公司，于1998年2月1日開始以“來料加工、委托管理”模式管理華晶MOS事業(yè)部。上華將過去華晶采用的IDM（垂直集成）管理模式改為Foundry（代工）模式。這種代工模式是臺(tái)灣臺(tái)積電公司于1987年在世界上首創(chuàng)的，大陸地區(qū)的純粹加工模式則是上華管理華晶MOS事業(yè)部開始的。陳正宇請(qǐng)美籍華人張汝京擔(dān)任副總經(jīng)理，由他帶來團(tuán)隊(duì)建立了一套做代工的管理制度。之后又請(qǐng)回蔡南雄擔(dān)任總經(jīng)理，將6英寸片月產(chǎn)片量提高到5000片。華晶與上華后來成立華晶上華合資公司，到2002年香港華潤(rùn)集團(tuán)收購華晶后改為華潤(rùn)上華公司，又在無錫新區(qū)建了8英寸線，持續(xù)不斷地向前發(fā)展。

二、 清華大茂

清華大學(xué)微電子所所長(zhǎng)錢佩信教授參加兩岸半導(dǎo)體研討會(huì)后，探索與臺(tái)灣同仁合作的路子，從1998年9月開始與臺(tái)灣交通大學(xué)馮明憲教授為首的團(tuán)隊(duì)經(jīng)過8個(gè)月的談判，到1999年4月28日雙方簽署了合作協(xié)議書。對(duì)方是馮明憲任董事長(zhǎng)的大茂電子公司。大茂協(xié)助清華建設(shè)5英寸線，使其成為能小批量生產(chǎn)的、科研與生產(chǎn)相結(jié)合的工藝線。經(jīng)過提升凈化間凈化條件后安裝調(diào)試設(shè)備，通過工藝試驗(yàn)轉(zhuǎn)入流線。最后將鋁柵CMOS芯片月產(chǎn)量達(dá)到3000片5英寸片的水平。雙方合作結(jié)果將過去只能出樣品和禮品的科研線建成能出產(chǎn)品、并能進(jìn)入市場(chǎng)的小批量生產(chǎn)線。

三、 滬京新案

      到二十世紀(jì)末，中國(guó)大陸電子工業(yè)[敏感詞]投資項(xiàng)目909工程于1999年2月23日在上海浦東金橋

建成中國(guó)大陸[敏感詞]條8英寸超大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線，這是華虹NEC合資公司執(zhí)行的，投產(chǎn)后生產(chǎn)DRAM產(chǎn)品。國(guó)務(wù)院于2000年6月底公布18號(hào)文件《鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》后，北京和上海兩地積極響應(yīng)。上海早在1998年就在西郊賓館召開了微電子工業(yè)發(fā)展國(guó)際研討會(huì)。

張汝京在北京大學(xué)王陽元院士陪同下到上海，于2000年4月創(chuàng)立中芯國(guó)際公司，張汝京出任總裁兼
CEO，從海內(nèi)外募集資金，吸引大批海外華人半導(dǎo)體技術(shù)人員來到張江，高速度建起了3條8英寸芯片生產(chǎn)線。緊接著上海成立另一家宏力公司，由蔡南雄出任總經(jīng)理，到2003年9月也建成一條8英寸芯片生產(chǎn)線。北京則請(qǐng)回中芯國(guó)際張汝京于兩年時(shí)間內(nèi)在亦莊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)建成了中國(guó)大陸[敏感詞]條12英寸芯片生產(chǎn)線，在2004年9月底開始投入生產(chǎn)。這距世界1999年建成[敏感詞]條12英寸線僅5年之后。從此中芯國(guó)際迅速成長(zhǎng)為中國(guó)大陸集成電路制造企業(yè)的領(lǐng)頭羊，無論在技術(shù)水平上、還是產(chǎn)量規(guī)模上，都位居[敏感詞]。

四、 寧波中緯

國(guó)家發(fā)布18號(hào)文件之后，馮明憲等人組建的亞太科技公司在2002年到浙江寧波保稅區(qū)籌建6英寸廠。從臺(tái)灣臺(tái)積電公司引進(jìn)其一廠的6英寸工藝設(shè)備和技術(shù)，于2004年7月投產(chǎn)。這是浙江省[敏感詞]條6英寸線。這是臺(tái)灣獨(dú)資性質(zhì)，也采用代工模式，盡管產(chǎn)品質(zhì)量?jī)?yōu)良，后因銀行貸款到期還不了而被拍賣給比亞迪，之后成為比亞迪汽車自用IGBT產(chǎn)品的生產(chǎn)基地。

·交往延續(xù)：

在2003年年末，亞太科技公司邀請(qǐng)大陸集成電路設(shè)計(jì)公司和潔凈廠房設(shè)計(jì)公司組團(tuán)，在中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)秘書長(zhǎng)徐小田帶領(lǐng)下去臺(tái)灣進(jìn)行訪問，參訪了臺(tái)灣相應(yīng)的公司，進(jìn)行了交流，加深了友誼。

到了2013年11月27日，在臺(tái)灣南投舉辦了第二次兩岸半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研會(huì)議。這次會(huì)議由臺(tái)灣電子材料與元件協(xié)會(huì)、敏泰科技公司及臺(tái)灣暨南大學(xué)籌備。大陸方的主要代表為中國(guó)科學(xué)院微電子所及半導(dǎo)體所，由微電子所所長(zhǎng)葉甜春研究員領(lǐng)隊(duì)，共計(jì)25人。清華大學(xué)微電子所所長(zhǎng)魏少軍教授（曾參加[敏感詞]次新竹會(huì)議）和廈門大學(xué)電子工程系/廈門電子學(xué)會(huì)郭東輝教授也參加了這次會(huì)議。會(huì)中除了專業(yè)技術(shù)報(bào)告及合作研討之外，還作出兩項(xiàng)提議：一是下次兩岸產(chǎn)學(xué)研合作會(huì)議在廈門舉行，由廈門大學(xué)及廈門電子學(xué)會(huì)主辦；二是在廈門推進(jìn)建立兩岸半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研的合作示范基地。會(huì)后經(jīng)兩岸的授權(quán)代表：臺(tái)灣電子材料與元件協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)鄭晃忠教授及廈門電子學(xué)會(huì)會(huì)長(zhǎng)郭東輝教授共同簽署了“共建廈門兩岸電子科技創(chuàng)新園”的合作協(xié)議。當(dāng)年同時(shí)，在臺(tái)北也召開了兩岸合作會(huì)議，由前臺(tái)灣清華大學(xué)校長(zhǎng)/臺(tái)灣行政機(jī)構(gòu)負(fù)責(zé)人劉兆玄創(chuàng)辦的李國(guó)鼎基金會(huì)邀請(qǐng)大陸科技部部長(zhǎng)萬鋼率領(lǐng)的科技部委組成的訪問團(tuán)，雙方進(jìn)行交談。之后促成了后來廈門聯(lián)芯、合肥晶合、南京臺(tái)積電和晉江晉華四座12英寸芯片廠計(jì)劃和推進(jìn)落地。同時(shí)也促進(jìn)兩岸清華大學(xué)在廈門推動(dòng)成立廈門清華海峽研究院的創(chuàng)立運(yùn)作，成為兩岸半導(dǎo)體科研教學(xué)合作的主要承載平臺(tái)。

之后，2014年間又分別在北京中科院微電子所（4月10日和5月20日）和廈門火炬高新技術(shù)開發(fā)區(qū)管委會(huì)及創(chuàng)業(yè)中心（6月24日和10月16日）舉行四次項(xiàng)目推進(jìn)會(huì)。兩岸雙方都有眾多單位參加。到了近幾年，這項(xiàng)提議具體展示為在廈門/金門地區(qū)建立廈門（金門）兩岸微電子創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園的兩岸半導(dǎo)體產(chǎn)官學(xué)研的合作平臺(tái)，現(xiàn)正在積極推進(jìn)中。

2015年3月30日臺(tái)灣交通大學(xué)原校長(zhǎng)張俊彥院士和臺(tái)灣清華大學(xué)研發(fā)長(zhǎng)張翼等一行到北京參訪了中科院微電子所和清華大學(xué)，進(jìn)行了學(xué)術(shù)交流。

21世紀(jì)以來，在20余年間，當(dāng)中國(guó)大陸大力發(fā)展集成電路制造業(yè)時(shí)，海外華人半導(dǎo)體技術(shù)人才紛紛到中國(guó)大陸來發(fā)揮才能。當(dāng)初中芯國(guó)際和宏力兩公司在上海張江園區(qū)建設(shè)之時(shí)，成百上千海外專業(yè)人才從美國(guó)、新加坡、中國(guó)臺(tái)灣和和香港飛來上海。參加1997年新竹會(huì)議的林大野（美籍華人，當(dāng)年任臺(tái)灣茂德專案經(jīng)理）于2005年9月加盟深圳方正微電子公司，在其帶動(dòng)下，先后有8名臺(tái)灣和1名美籍技術(shù)人員加入，初步形成技術(shù)團(tuán)隊(duì)，和大家一起努力在深圳方正微建成一條6英寸芯片生產(chǎn)線。另一位是參加會(huì)議的梁孟松，當(dāng)年任臺(tái)積電公司處長(zhǎng)，他于2017年10月16日由中芯國(guó)際宣布被任命為聯(lián)合CEO兼執(zhí)行董事，4年多來帶領(lǐng)研發(fā)團(tuán)隊(duì)在短期內(nèi)把14納米投入量產(chǎn)，并在沒有EUV光刻機(jī)的條件下沖剌7納米工藝技術(shù)。

·重大進(jìn)展：

從1997年5月29日召開臺(tái)灣新竹交流研討會(huì)迄今已過去25年，中國(guó)大陸和臺(tái)灣地區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)都有了很大發(fā)展，兩岸半導(dǎo)體界合作項(xiàng)目和臺(tái)灣企業(yè)到大陸設(shè)廠也愈來愈多。早在2001年11月從聯(lián)電出來的臺(tái)灣團(tuán)隊(duì)就在江蘇蘇州成立和艦科技公司，建設(shè)一條8英寸芯片生產(chǎn)線。緊接著2003年8月臺(tái)積電（中國(guó)）有限公司在上海松江成立，也建設(shè)一條8英寸芯片生產(chǎn)線。到2014年6月國(guó)務(wù)院發(fā)布24號(hào)文件《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》，并設(shè)立國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金一期之后，由此拉開了中國(guó)大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)騰飛的序幕。臺(tái)灣企業(yè)與大陸地方政府經(jīng)過多年溝通談判，紛紛到大陸來建12英寸廠。先有聯(lián)電于2014年10月到福建廈門合作建聯(lián)芯公司，做代工。再是力晶公司于2015年5月到安徽合肥合作建晶合公司，生產(chǎn)液晶面板LCD驅(qū)動(dòng)電路。然后臺(tái)積電公司于2016年5月到江蘇南京成立臺(tái)積電（南京）公司，獨(dú)資建12英寸廠，技術(shù)為16納米。再是聯(lián)電又于2017年到福建晉江合作成立晉華公司，做DRAM產(chǎn)品?，F(xiàn)今臺(tái)灣臺(tái)積電公司在集成電路制造技術(shù)水平上居[敏感詞]地位，5納米芯片已經(jīng)量產(chǎn)，3納米芯片即將投入生產(chǎn)，2納米技術(shù)研發(fā)進(jìn)展順利。臺(tái)積電承擔(dān)全球一半的代工量。中國(guó)大陸中芯國(guó)際14納米已經(jīng)量產(chǎn)，在美國(guó)限制荷蘭ASML公司不向中國(guó)交付EUV光刻機(jī)的局面下，中芯國(guó)際仍努力研發(fā)7納米技術(shù)。中芯國(guó)際已成為世界第四大代工企業(yè)。

·展望愿景：

回想25年前參加研討會(huì)的兩岸半導(dǎo)體業(yè)者和會(huì)后在兩岸交流中作出重大貢獻(xiàn)者，有的已離我們而去，如臺(tái)灣的張俊彥院士和陳正宇博士，大陸的13所梁春廣院士、CSIA前秘書長(zhǎng)陳文華和參會(huì)時(shí)的華越陳賢（后任CSIA秘書長(zhǎng)和副理事長(zhǎng)）。他們生前努力付出的兩岸半導(dǎo)體交流和合作活動(dòng)在未來的年代里必將長(zhǎng)遠(yuǎn)地發(fā)展下去！讓我們大家在未來的時(shí)日里一起努力，祝愿在兩岸半導(dǎo)體交流與合作領(lǐng)域里開出更大更多的花朵，結(jié)出更大更多的碩果！

                          朱貽瑋 
                                2022年5月29日

 

說明：兩岸半導(dǎo)體界聯(lián)系歷史過程：

·1991年冬天，蔡南雄在吳沈棟（清華大學(xué)無線電專業(yè)1957級(jí)）陪同下到北京西宛飯店見北京燕東公司副總經(jīng)理朱貽瑋（清華大學(xué)半導(dǎo)體專業(yè)1957級(jí)），當(dāng)時(shí)蔡南雄任香港華智公司總經(jīng)理。香港華智前身是愛卡公司，這是由北京電子管廠王正華、王思詳、葉小琳等人（三位都是清華大學(xué)校友：電機(jī)系1952級(jí)、半導(dǎo)體專業(yè)1956級(jí)和1957級(jí)）協(xié)助榮智?。s毅仁之子）建的4英寸芯片線。后來參加香港上華公司到無錫華晶工作的蕭常輝和余楚榮都在愛卡和華智工作過。

·1996年8月，臺(tái)灣電子材料與元件協(xié)會(huì)秘書長(zhǎng)馮明憲（臺(tái)灣清華大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)系1978年入學(xué)）到北京凱賓斯基飯店見電子工業(yè)部徐小田處長(zhǎng)，提出邀請(qǐng)大陸半導(dǎo)體同仁到臺(tái)灣開交流會(huì)。后由中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)秘書長(zhǎng)陳文華與馮明憲保持聯(lián)系赴臺(tái)事宜。原提去50人，國(guó)臺(tái)辦批準(zhǔn)為30人。清華大學(xué)微電子所所長(zhǎng)錢佩信（半導(dǎo)體專業(yè)1955級(jí)）提出高校和研究單位建議名單，朱貽瑋提出工廠公司建議名單，最后由行業(yè)協(xié)會(huì)定下30人名單。由行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)樓潔年（清華大學(xué)半導(dǎo)體1956級(jí)）領(lǐng)隊(duì)，共29人于1997年5月29日到臺(tái)灣新竹參加會(huì)議。大會(huì)上代表大陸方面作主要報(bào)告的是電子工業(yè)部基礎(chǔ)產(chǎn)品司副司長(zhǎng)鄭敏政（清華大學(xué)半導(dǎo)體專業(yè)1963級(jí)）。

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